EB-3601 三甲基三乙烯基环三硅氮烷 CAS 5505-72-6 广州现货供应_硅氮烷

Name: EB-3601 乙烯基环硅氮烷(三甲基三乙烯基环三硅氮烷)
Brand: 依帕克斯 EPOXYSCA
SKU: EB-3601

EB-3601 三甲基三乙烯基环三硅氮烷 CAS 5505-72-6 广州现货供应

发布：admin 时间：2026-09-26

产品描述

广州依帕克斯材料技术有限责任公司广州仓储中心现货供应EB-3601(三甲基三乙烯基环三硅氮烷 CAS 5505-72-6),华南地区订单可快速安排物流,广东及周边省份发货时效短。本品属硅氮烷品类,常备库存、支持样品验证。EB-3601 的"环三硅氮烷"指由硅(Si)和氮(N)原子交替组成的六元环骨架,三个甲基(-CH₃)与三个乙烯基(-CH=CH₂)分别挂在三个硅原子上。下方技术参数为出厂实测典型值,随货 COA 与之同口径,采购前可先小批量试单。

EB-3601(三甲基三乙烯基环三硅氮烷)键线式结构图 — EB-3601 化学结构式:[(CH₃)(CH₂=CH)Si—NH]₃(环三硅氮烷)

EB-3601 技术指标
化学名称	三甲基三乙烯基环三硅氮烷(Trimethyltrivinylcyclotrisilazane,简称 VTMS)
CAS No.	5505-72-6
分子式 / 分子量	C₉H₂₁N₃Si₃ / 255.54
结构特点	硅氮交替六元环,每个硅带 1 个甲基与 1 个乙烯基

应用领域

陶瓷前驱体镀膜:作为环状硅氮烷前驱体,经热解或等离子体转化获得 SiCN/SiN 陶瓷膜层,用于光学与结构部件的陶瓷涂层。华南地区该应用客户可向广州仓库现货采购{model},支持先寄样测试。
SiN/SiC 薄膜沉积:作为气相或溶液法沉积含硅薄膜的分子前驱体,用于半导体及微电子工艺。广州依帕克斯可按该应用场景提供{model}样品与用量建议。
半导体等离子体工艺:官网注明可用作半导体工业中的等离子体腐蚀剂。华南地区该应用客户可向广州仓库现货采购{model},支持先寄样测试。
化工生产中间体:用于工业原材料生产,合成其他硅氮烷及有机硅材料。广州依帕克斯可按该应用场景提供{model}样品与用量建议。

使用方法与用量参考

以下为广州及华南客户常用的工艺方法与参考用量:

溶液法镀膜:用甲苯等无水溶剂配成 0.5%~5% 的稀溶液,旋涂或浸渍成膜,在高纯氮气保护下于 300~800 ℃ 热解转化为陶瓷膜层;起步浓度建议从 1% 左右试起。广州仓库现货供应,可先取小样试跑工艺。

气相沉积:以惰性载气鼓泡或汽化引入沉积腔,沉积温度与时间按膜层工艺设定;全程保持系统干燥,防止水汽进入。广州仓库现货供应,可先取小样试跑工艺。

包装与储存

密封贮存于阴凉、通风、干燥处,防潮避光,远离水汽与酸碱;硅氮烷对水汽敏感,开封后建议充氮密封并尽快用完。标准包装:20KG 纸箱、25KG 塑料桶、200KG 铁桶或 IBC(按产品实际可选),可按客户要求提供其他规格。未开封常规有效期 12 个月。华南客户支持自提与同城配送,外地订单按整箱/整桶发运。